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鋁膜

產品屬性

  • 所屬分類:鋁膜
  • 產品編號:1641370630
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  • 發布日期:2022-01-05
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

現提供一種鋁膜工藝方法,能完全去除聚合物,保護鋁膜不會被腐蝕。


鋁膜工藝方法適用于厚度不低于的鋁膜,去除金屬膜時去掉聚合物,再用濕法刻蝕加干法刻蝕將剩余聚合物完全去除。去除金屬膜采用氧氣流和水剝離的方法。進一步地,去除金屬膜時溫度控制在230~270℃。氧氣流使用工藝參數為:壓力2Torr,射頻功率0W,氧氣流量4000sccm,時間為20s;水剝離使用工藝參數為:壓力2Torr,射頻功率1400w,水蒸氣流量500sccm,時間為60s。在金屬膜剝離時去除聚合物,再用濕法刻蝕和干法刻蝕完全去除剩余的聚合物,能將聚合物去除干凈,增加后續工藝腐蝕窗口。


具體實施方式

1.一種鋁膜工藝方法,適用于厚度不低于的鋁膜,其特征在于:去除金屬膜時去掉聚合物,再用濕法刻蝕加干法刻蝕將剩余聚合物完全去除。

2.鋁膜工藝方法,其特征在于:去除金屬膜采用氧氣流和水剝離的方法。

3.鋁膜工藝方法,其特征在于:去除金屬膜時溫度控制在230~270℃。

4.鋁膜工藝方法,其特征在于:氧氣流使用工藝參數為:壓力2Torr,射頻功率0W。

鋁膜

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